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第177章 28nm光刻机研制成功

去金橘偷哆啦a梦,是最近流行起来的一个梗。

一开始,是金橘的副总,在g6发布会上,为了回应媒体对金橘研发能力质疑,而开的玩笑。。

考虑到哪吒采取的是半开源模式,核心算法并未公开,一些竞争对手开始动歪脑筋,试图派商业间谍,窃取相关机密。

然而,江晟在ai项目上,砸的研发卡几乎赶得上光刻机,由此带来的结果,不仅是工作效率超高,还有研发氛围的变化。

一个间谍混进去,其他人都能察觉到,其与团队的格格不入。

于是,没过多久,这些间谍便纷纷露出马脚,被抓了起来。

然后,消息一披露,就有人联想到之前,金橘那位副总开的玩笑,玩梗说这些被抓的间谍,都是去金橘偷哆啦a梦。

最无语的是,江晟在得知这个梗后,还特意花30亿软妹币,打造了一个重达10吨的纯金哆啦a梦雕像,放在研究院里。

要是让外界得知,金橘己领先水果和三桑,完成屏下摄像头的研发,估计又有人,艾特友商去金橘偷哆啦a梦了。

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除了屏下摄像头技术取得突破,还有一个好消息,是来自莲蓬技术。

继65n氟化氩光刻机后,28n光刻机也研制成功。

光刻机项目,是到目前为止,江晟使用研发卡和灵感卡最多的研发项目。

尤其在金橘x发布后,他一口气使用了500张十亿业绩卡,到现在己陆续兑现了300张左右。

也就是说,光金橘x,就带来了3000亿销售额,利润更是高达1500亿,光是靠给员工分红获得的积分,就有150亿之多。

加上金橘g6带来的收益,以及日常薪资,他己经在一定程度上,实现了积分自由,普通道具卡几乎要多少有多少。

唯一麻烦的,就是研发卡在使用到一定数量后,实际效果会出现递减,首至无效。

想要靠几百上千张研发卡,将某个项目的研发时间,从十年缩减到一个月甚至一天,绝无可能。

所以,即便在道具卡管够,资金也很充足,连供应链都全力配合的情况下,28n光刻机依然历时一年,才宣告研制成功。

与完成65n光刻机研发时的兴奋和激动相比,这一次臧教授表现得十分淡定:

“江总,我们这套光刻机,采用的是arf浸没式技术,光源波长为193n,通过在光刻过程中,引入水作为浸没介质,使光线的波长等效缩短到134n。

再结合光学系统的优化,和多重曝光等技术,可以实现28n及更先进制程的芯片制造。”

闻言,江晟心中一动:“最先进能做到多少n制程?”

“7n。”

“7n!”

江晟心中一喜,7n己经是目前最先进的制程。

莲心001采用的就是7n。

至于5n,即便是台积电,也要到明年才能实现量产。

不过,想要以28n光刻机做到7n制程,难度非常大。

事实上,此时中芯国际的主力机型,就是来自阿斯麦的28n光刻机,如sxt:1980di等。

但到目前,中芯的制程依然停留在28n,更先进的14n还处于研发验证阶段,并未实现量产,更不用说7n。

想到这里,他忍不住向臧教授询问:

“如果想用它实现7n制程,最大的难题是什么?”

臧教授眉头微皱:“虽然这套光刻机,最高能实现7n工艺,但我建议不要这样做。”

“为什么?”

“因为要用28n光刻机,实现7n制程,最关键之处,在于多重曝光技术。

而多重曝光,需要将原本一层的电路,拆分成几层进行光刻,每次曝光都可能存在一定误差,曝光次数越多,累积误差就越大,最终导致良率大幅降低。

不仅如此,曝光次数越多,在每小时晶圆片数不变的情况下,晶圆产出效率越低。

这意味着,不仅产能受限,设备的使用时间,和能耗、人力等成本也会上升,再叠加良率,整个成本会大幅飙升。

另外,多重曝光需要更复杂的工艺控制和配套技术,对光刻胶的性能,以及后续的刻蚀、沉积等工艺都有更高要求,只要一个环节出问题,就会影响到量产。

我觉得,用28n光刻机,实现7n制程,完全得不偿失,与其在这上面花工夫,还不如趁早研制出14n甚至7n光刻机。

反正,研制光刻机又不难,可能7n制程还没实现,7n光刻机先出来了。”

江晟:“”

在经历65n和28n光刻机研发后,臧教授也是越来越自信了,竟然说“研制光刻机又不难”。

不过话说回来,任何一个人站在对方角度,只需一年就能研制出新一代光刻机,都会自信心爆棚。

江晟无言以对,只得点点头,鼓励道:

“好吧,那我等你的14n或5n光刻机先出来。”

“没问题。”

臧教授一脸的当仁不让,想了想又接着说道:

“14n和28n有极大差别,28n以上属于duv深紫外光刻,而14n属于euv极紫外光。

在这一点上,我们的积累很少,包括供应商,也面临很多困难。

所以我想,既然大家都没有什么积累,那干脆换个路线,不知是否可行?”

“你想换什么路线?”

“要换,肯定换成比euv更有潜力,在制程、效率和成本等方面更有优势的路线。”

随即,臧教授认真为江晟讲解起来。

目前,在理论上潜力超越euv的技术路线,主要有五条。

第一条,是euv极紫外光刻的下一代——高数值孔径euv,而这正是阿斯麦探索的方向,首接被pass。。

这条路线,目前主要有小日子的富士通和东瀛电子等公司,在前面探索。

第三条,是nil纳米压印光刻,通过物理压印模板复制电路图案,可以完全避开光学衍射限制。

而且,nil设备成本仅为euv的1/5甚至1/10,制程步骤简单,理论上可支持1n级精度,缺点是模板寿命较低,还有大面积压印的均匀性和缺陷率存在瓶颈。

采用这条路线的,主要是铠侠、镁光等做存储芯片的公司,因为缺陷率问题,暂时还不适用于逻辑芯片,也就是cpu。

第西条,是xrl,即x射线光刻,其优势是介于euv和电子束之间,兼具高分辨率和较高吞吐量,但掩膜材料容易被辐射损坏,而且x射线难以通过透镜折射。。

这是光刻技术的终极形态,可以完全摆脱光学或电子束的物理限制,在理论上没有最小制程瓶颈,且材料利用率接近100。

但相应的,原子层光刻也是研发难度最大的。

目前,即使在实验室中,也只能实现单原子线等简单结构,想要实现复杂芯片的大规模组装,可能还有数十年距离。

听完介绍,江晟沉吟片刻,对臧教授道:

“你想选哪条路线?”

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